美国质疑ASML先进芯片流入中国 恐违反出口禁令

中美高科技博弈再度升级，美国商务部长卢特尼克（Howard Lutnick）直接向荷兰半导体设备巨头艾司摩尔 （ASML）高层对质，质疑该公司旗下最顶尖的极紫外线（EUV）光刻机可能已透过某种途径流入中国，涉嫌违反美国主导的出口管制，令ASML陷入“危机模式”，亦令本已脆弱的美欧关系进一步承压。

闭门会议唇枪舌剑 公开对外“粉饰太平”

据知情人士透露，商务部长卢特尼克在4月的一场会议中，当面向ASML行政总裁富凯（Christophe Fouquet）等高层表达了对EUV光刻机流入中国的强烈担忧。EUV系统是台积电（TSMC）等晶圆代工厂用来为苹果及英伟达制造尖端处理器的核心设备。早在特朗普第一任时，美国已禁止ASML向中国出货此类设备。

有趣的是，这场闭门会议，在公开层面却被刻意淡化。卢特尼克与富凯事后在LinkedIn上发帖时，均以正面措辞形容会面，并称会议重点围绕ASML在美国的投资承诺，对EUV的争议只字不提。

ASML启动“危机模式” 自证清白

面对美方的严厉质疑，ASML随即全力“证实一件不存在的事”（prove a negative），并强调公司从未向中国发运过任何一部EUV光刻机，并列举多项技术理由反驳美方质疑。ASML指，全球数量透明，目前全球共有314部EUV光刻机正在运行，另有26部已退役，中国境内的数量是“零”。又指每部EUV光刻机体积形同一辆校巴，且属限量生产。另外，设备需要ASML员工进行持续维护。ASML的系统能自动侦测到任何中断、异常行为或连线中断。以及搬运难度极高。

美官员暗指ASML向中国出口专门零件

然而，美方官员声称掌握敏感证据，显示ASML正向中国出口专门用于运输EUV机器的特制设备以及可供EUV系统使用的相关零部件。不过，当媒体多次要求美方提供出货证据或说明是否掌握EUV系统已在中国的实质证据时，官员均以涉及敏感情报源为由拒绝，亦拒绝评论为何至今未对ASML采取惩罚行动。

ASML发言人则强烈反驳，指任何声称公司蓄意违反与荷兰、美国或其他政府协议的言论均属不实且具误导性，强调从未向中国出口任何专为EUV设计的组件或设备。荷兰外交部发言人亦回应称，荷兰非常重视自身在半导体产业的独特角色，并“极其严格”地执行出口限制。