美國質疑ASML先進晶片流入中國 恐違反出口禁令
中美高科技博弈再度升級,美國商務部長盧特尼克(Howard Lutnick)直接向荷蘭半導體設備巨頭艾司摩爾 (ASML)高層對質,質疑該公司旗下最頂尖的極紫外線(EUV)光刻機可能已透過某種途徑流入中國,涉嫌違反美國主導的出口管制,令ASML陷入「危機模式」,亦令本已脆弱的美歐關係進一步承壓。
閉門會議唇槍舌劍 公開對外「粉飾太平」
據知情人士透露,商務部長盧特尼克在4月的一場會議中,當面向ASML行政總裁富凱(Christophe Fouquet)等高層表達了對EUV光刻機流入中國的強烈擔憂。EUV系統是台積電(TSMC)等晶圓代工廠用來為蘋果及英偉達製造尖端處理器的核心設備。早在特朗普第一任時,美國已禁止ASML向中國出貨此類設備。
有趣的是,這場閉門會議,在公開層面卻被刻意淡化。盧特尼克與富凱事後在LinkedIn上發帖時,均以正面措辭形容會面,並稱會議重點圍繞ASML在美國的投資承諾,對EUV的爭議隻字不提。
ASML啟動「危機模式」 自證清白
面對美方的嚴厲質疑,ASML隨即全力「證實一件不存在的事」(prove a negative),並強調公司從未向中國發運過任何一部EUV光刻機,並列舉多項技術理由反駁美方質疑。ASML指,全球數量透明,目前全球共有314部EUV光刻機正在運行,另有26部已退役,中國境內的數量是「零」。又指每部EUV光刻機體積形同一輛校巴,且屬限量生產。另外,設備需要ASML員工進行持續維護。ASML的系統能自動偵測到任何中斷、異常行為或連線中斷。以及搬運難度極高。
美官員暗指ASML向中國出口專門零件
然而,美方官員聲稱掌握敏感證據,顯示ASML正向中國出口專門用於運輸EUV機器的特製設備以及可供EUV系統使用的相關零部件。不過,當媒體多次要求美方提供出貨證據或說明是否掌握EUV系統已在中國的實質證據時,官員均以涉及敏感情報源為由拒絕,亦拒絕評論為何至今未對ASML採取懲罰行動。
ASML發言人則強烈反駁,指任何聲稱公司蓄意違反與荷蘭、美國或其他政府協議的言論均屬不實且具誤導性,強調從未向中國出口任何專為EUV設計的組件或設備。荷蘭外交部發言人亦回應稱,荷蘭非常重視自身在半導體產業的獨特角色,並「極其嚴格」地執行出口限制。
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