荷蘭ASML獲政府許可 年底前繼續向中國客戶交付光刻機

荷蘭光刻機巨頭ASML發表聲明，表示已獲政府發出許可證，允許ASML今年繼續出口光刻系統，將持續在年底前向中國客戶交付支持38nm至7nm的先進半導體製造裝備。

裝配工程師正在組裝TWINSCAN DUV 光刻系統。 路透社

裝配工程師正在組裝TWINSCAN DUV 光刻系統。 路透社

裝配工程師正在組裝TWINSCAN DUV 光刻系統。 路透社

一部TWINSCAN NXE:3400B 半導體光刻機進行最終組裝。 路透社

荷蘭費爾德霍芬ASML總部外牆的巨型商標。 路透社

據內地《快科技》報導，ASML已經獲得荷蘭官方的允許，在今年年底前向中國客戶出口其生產的先進半導體製造設備。該公司表示，直到年底之前，ASML將能繼續出貨其NXT:2000i和更先進的DUV（深紫外線）型號的產品。這些產品從9月1日起受到相關法令的限制。

至於2024年是不是可以繼續對中國出口此一等級的DUV光刻機或更先進的半導體設備，ASML則表示暫時還無法確定。

據ASML官網提供的資訊，該公司目前售賣的主流浸沒式DUV光刻機產品共有3款，分別是：TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。目前已確知NXT:1980Di不在限制範圍內，NXT:2000i與NXT:2050i仍需獲得荷蘭政府的許可。

據ASML公布財報指出，2023財年2季度銷售額處於高水平，其中高階EUV光刻機銷量呈現下滑，而營收成長主要來自於浸潤式DUV光刻機超出預期，尤其是中國市場在DUV光刻機佔比較1季度大幅成長200%，讓ASML的業績保持強勁成長。今年前7個月，中國從ASML進口的半導體設備較去年同期增長了64.8%。

半首體業界專家指出，儘管出口管制收緊帶來了挑戰，但中國對半導體設備進口額的大幅增長，顯示中國正在繼續擴大成熟製程的生產。據市場研究機構Counterpoint的資料顯示，今年第2季度，前5大半導體設備製造商對中國的出貨量增長了30%。

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