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荷蘭光刻機擬對華「開綠燈」

荷蘭ASML公司的晶片光刻機。 荷蘭ASML公司的晶片光刻機。

  (星島日報報道)全球光刻機巨頭荷蘭阿斯麥(ASML)全球副總裁、中國區總裁沈波表示,該公司對向中國出口集成電路光刻機持開放態度,對全球客戶均一視同仁,在法律法規框架下,都將全力支持。這對中國對抗美國晶片圍堵或有突破。

  作為全球晶片光刻技術的領導者,荷蘭光刻機生產企業阿斯麥以「光刻未來,攜手同行」為主題,亮相正在上海舉行的第三屆進博會高端裝備展區,呈現整體光刻解決方案。不過,內地媒體發現,阿斯麥並沒有帶來了其最先進,可製造10納米以下晶片的EUV(極紫外光)光刻機,僅展示其較次一級的DUV(深紫外線)光刻機。

  沈波向記者承認,EUV光刻機目前還在等荷蘭政府的出口許可證。該公司須在遵守法律法規的前提下進行光刻機出口。據透露,受美國對華出口技術限制,阿斯麥需獲得美方的同意,才能向中國出售EUV光刻機。

  但沈波強調,該公司對向中國出口光刻機保持很開放態度,「我們參加進博會是為了表達我們的立場,對開放合作、攜手創新的支持。」自三十年前進入中國市場以來,該公司在中國共為客戶提供了七百多台裝機。二○二○年第二、第三季度,公司發往中國大陸地區的光刻機台數超過了全球總台數的百分之二十。

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