台积电全球首创晶圆自动进出货系统

台积电在最新一期ESG电子报中表示已开发出全球首创晶圆自动进出货系统，有效降低库房员工95%搬运量，年省1300万次人工操作。台积电预计于2022年第三季完成与无尘室晶圆自动进出货系统的串接，达成晶圆进出全自动化管理。(jh)